云創智工（北京）科技有限公司
電話：010-87802627
聯系人：董總
手機：13910258082
地址1：北京市朝陽區東三環南路102號4層3A029
地址2：北京市大興區泰和中心廣場1-1-910
- 高分辨率非接觸表面分析儀
- 現在位置：首頁 > 產品展示 >> 高分辨率非接觸表面分析儀
高分辨率非接觸表面分析儀
DSV系列高分辨率非接觸表面分析儀基于偏轉測量技術進行表面檢測和平整度測量，旨在通過光學非接觸技術幫助制造商檢測最大直徑可達300 mm的大表面，以實現無缺陷生產和高質量產品交付。
本設備可對單個產品或批量產品進行表面質量控制或直接進行在線檢測?？梢栽谝淮螠y量中將表面粗糙度、形狀、平坦度和形貌進行納米級量化。
其極高的分辨率性能帶來了快速、可靠和高度靈敏的解決方案，適用于多個行業的大型表面檢測。
特點 :
l 垂直方向動態范圍 : 1mm 到 1nm
l 視野 : 可達300mm
l 橫向分辨率 : 低至10um
l 無需拼接可對樣品進行全直徑尺度進行一次性測量
l 易于使用的軟件界面
應用 :
l 材質/質地: 2D 和 3D 粗糙度，波紋度
l 形狀: 2D 和 3D 彎曲和幾何形狀
l 應力: 2D 和 3D 薄膜應力
l 缺陷檢測: 2D和 3D 缺陷表面形貌
行業 ：
l 大學、實驗室和研究所
l 半導體、太陽能行業
l 發光二極管行業
l 汽車行業
l 醫療器械
離線分析軟件 ：
l 光標和直方圖形式進行2D /3D 階梯高度分析
l 2D 剖面圖和3D視圖測量
l 2D /3D 粗糙度和波紋度分析
l 2D/3D 濾波和水準測量技術
l 薄膜應力和樣品彎曲計算
測量應用
|
|
質地: 粗糙度和波紋度 可對材質質地進行2D和3D測量，同時量化樣品的粗糙度和波紋度。使用軟件過濾器區分粗糙度和波紋度分量。 |
|
|
形狀: 彎曲和幾何形狀 測量表面的2D形狀或彎曲，量化曲面結構（如透鏡）的高度和半徑。
|
|
|
薄膜應力 測量具有多個工藝層的器件制造過程中產生的2D和3D應力。 |
|
|
缺陷分析 測量缺陷形貌，如劃痕的深度。 |
技術參數
|
|
DSV-100 |
DSV-300 |
|
測量視野 |
100 × 100 mm2 (平面工件) |
300 × 300 mm2 (平面工件) |
|
平面公差 |
+/- 1mm |
+/- 3-4mm |
|
橫向分辨率 |
22 μm |
66 μm |
|
縱向分辨率 |
<1 nm |
2 nm |
|
測量時間 |
典型時間3-5 秒 |
典型時間3-5 秒 |
|
測量周期時間 |
典型時間6-25秒 |
典型時間6-25秒 |
|
高程圖準確性 |
+/- 1 nm （10 × 10 cm2情況下） |
+/- 1 nm （30 × 30 cm2情況下） |
|
相機 |
20 M像素 |
20 M像素 |
|
外形尺寸 |
400 × 300 × 300 mm3 |
500 x 900 x 500 mm3 |
- 上一篇：發動機端蓋擰緊工藝管控系統方案
- 下一篇：壓痕法力學性能測量設備